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快速的非接觸式三維輪廓表征

布魯克是三維表面計(jì)量與檢測(cè)方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者，提供快速、可信賴及易用的非接觸式三維輪廓表征方案。樣品小至顯微視場(chǎng)下的MEMS結(jié)構(gòu)，大到完整的機(jī)械引擎。這些方案為研發(fā)、制造及質(zhì)量控制的研究者和工程師們提供了業(yè)界領(lǐng)先的靈敏度和穩(wěn)定性。而這正是其它計(jì)量方法在精細(xì)三維表面測(cè)量應(yīng)用方面所面臨的挑戰(zhàn)。

我們的光學(xué)輪廓儀基于Wyko?專有核心技術(shù)，歷經(jīng)十代積累，提供了其他測(cè)量系統(tǒng)無(wú)法企及的高精度與穩(wěn)定性。在今日，這些正成為精密表面三維測(cè)量的主流應(yīng)用場(chǎng)景。我們的計(jì)量工具已被證明可支持全球?qū)嶒?yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境中的尖端研究和發(fā)現(xiàn)。

找到最適合您的三維光學(xué)輪廓儀

桌面型三維光學(xué)輪廓儀


三維光學(xué)輪廓儀ContourX-100	三維光學(xué)輪廓儀ContourX-200	三維光學(xué)輪廓儀ContourX-500
精簡(jiǎn)且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的臺(tái)式，用于粗糙度計(jì)量	表面紋理計(jì)量的靈活臺(tái)面	用于 3D 計(jì)量的全自動(dòng)臺(tái)式

落地型三維光學(xué)輪廓儀


ContourX-1000	NPFLEX-1000	三維光學(xué)輪廓儀ContourSP
Self-calibrating, fully automated solution for research and production	用于表面紋理和粗糙度測(cè)量的最多功能的落地式白光干涉儀，可用于最大尺寸樣品。	用于大容量、高精度PCB生產(chǎn)控制的大面板計(jì)量系統(tǒng)

不同領(lǐng)域?qū)Ｓ玫谋砻嬗?jì)量方案


精密加工	微機(jī)電系統(tǒng)和傳感器	骨科及眼科
將精密加工零件的表面紋理和幾何尺寸控制在極小的范圍內(nèi)。我們的計(jì)量級(jí)測(cè)量系統(tǒng)為監(jiān)控、跟蹤、過(guò)程評(píng)估提供了充分的反饋和報(bào)告，符合GD&T規(guī)范。	提供高通量和高重復(fù)性的刻蝕深度、膜厚、臺(tái)階高度及表面粗糙度測(cè)量，還提供微機(jī)電系統(tǒng)和光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)的高級(jí)關(guān)鍵尺寸計(jì)量。光學(xué)輪廓儀能監(jiān)控設(shè)備從晶圓到最終產(chǎn)品的整個(gè)過(guò)程，甚至包括透明封裝。	在整個(gè)生命周期內(nèi)，對(duì)植入材料及組件進(jìn)行精確、可重復(fù)的測(cè)量。我們的白光干涉光學(xué)輪廓儀支持研發(fā)、質(zhì)量保證及質(zhì)量控制領(lǐng)域用戶實(shí)現(xiàn)各種場(chǎng)景的應(yīng)用。應(yīng)用場(chǎng)景從透鏡和注射模具的表面參數(shù)表征，到醫(yī)療器械的表面光潔度驗(yàn)證和磨損都有涵蓋。

摩擦磨損	半導(dǎo)體	光學(xué)
測(cè)量、分析并控制摩擦、磨損、潤(rùn)滑和腐蝕對(duì)材料/組件的性能及壽命的影響。定量測(cè)定磨損，及快速判定各種表面類型是否符合要求，包括反光表面、平滑表面和粗糙表面等。	通過(guò)自動(dòng)化、非接觸、晶圓級(jí)別的計(jì)量系統(tǒng)，為前端和后端制程提高產(chǎn)率及降低成本。測(cè)量化學(xué)機(jī)械拋光后的樣品平面度檢測(cè)；凸塊高度、共面性及缺陷鑒定和分析；以及各種結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵尺寸測(cè)量。	通過(guò)亞納米尺度的精確、可重復(fù)的表面粗糙度測(cè)量，更好理解缺陷的根本來(lái)源，從而優(yōu)化加工過(guò)程。我們的非接觸計(jì)量系統(tǒng)能夠滿足從小型非球面和自由曲面光學(xué)器件到復(fù)雜幾何形狀光學(xué)元件、衍射光柵和微透鏡等樣品日益嚴(yán)格的要求和ISO規(guī)范。